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高纯气体如何安全供气？为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器，在排入大气的排气管道上，为防止排气时突遇雷电阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧事故，必须在排气管道上设置阻火器。可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。氮氢混合气体是焊接行业常用的混合保护气种类之一，氮气稳定的性质和氢气的弱还原作用对焊缝的成形具有很好的辅助效果，并且对于气泡生产也有相当的***作用，在焊接领域有很好的使用成效。各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口，以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换，但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通，以避免影响气体质量。

半导体气体很多是对******。特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的毒性，任何些微的泄漏都可能造***员生命的危害，也就是因为这些显而易见的***，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。此类气体充装时为液态,但在允许的工作温度下贮运和使用过程中其蒸汽压随温度的升高而升高,超过临界温度时蒸发为气体。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ULSI、TFT-LCD到现在的微机电(MEMS)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。

氧气的物理性质

氧元素位于周期表第六族，原子序数为8，原子量为16，分子量为32.在通常情况下，氧是无色、无味的气体。空气中含有自由状态的氧，按体积氧的含量约占21%，按质量约占23%。在标准状况下，1升氧气的质量为1.429克，它比空气稍重。进入21世纪以来，中国拥有快速发展的工业市场和日益增长的产品需求，已逐渐成为世界上气体行业***活跃的市场之一，对于气体的需求量持续高速增长，给气体行业带来历史性的发展机遇。当温度降到-183℃ 时，氧态氧变成淡蓝色的液体；当温度降到-218.8℃ 时，液氧就会变成雪花状的淡蓝色固体。氧是自然界中含量较多的元素，分布很广，占地壳中各元素总量的47%，占水成分的89%，占地壳中岩石，抗物成分的46.6%。

***的特点

***，1、物理性质：无色无味气体，沸点-161.4℃，比空气轻，它是极难溶于水的可燃性气体。2、化学性质：可燃性、取代反应、氧化反应。3、应用：作为燃料及制造氢气、炭黑、***及甲醛等物质的原料。半导体集成电路所需要的高纯气体主要分为两大类：1、普通气体：也叫大宗气体，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。（2）原理：CH3COONa+NaOH===Na2CO3+CH4↑。（3）检验：点燃CH4，在火焰上方罩一个冷而干燥的的烧杯(现象：烧杯内壁有水珠生成)。迅速把烧杯倒转过来，向烧杯中注入少量澄清的石灰水，振荡(现象：澄清石灰水变浑浊)。则证明该气体为CH4。