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标准气体分析方法

分析标准气体的方法很多，但常用的主要有：气相色谱法、化学发光法、非色散红外法以及用于微量水和微量氧分析的其他方法。

一、气相色谱

  气相色谱法适用于氢气、氧气、氮气、***气、氦气、***、二氧化碳等无机气体，***、***、丙烯、及C3以上的绝大部分有机气体的分析。通过直接法、浓缩法、反应法等样品处理技术的应用，分析的含量范围为10-9~99.999%。所以，气相色谱法也是分析标准气体中应用较多、普遍的方法。

二、化学发光法

  化学发光法是利用某些化学反应所产生的发光现象对组分进行分析的方法，具有灵敏度高，选择性好，使用简单方便、快速等特点。因些，适用于硫化物、氮氧化物、氨等标准气体的分析。

高纯氮气制备

高纯氮气目前制取氮气的方法主要是低温空气分离和非低温空气分离。非低温空气分离有变压吸附法和膜法制单，膜法制单制取氮气纯度<99%时是经济的、适用的、但要制取99.9%-99.999%纯度的氮气，图6-30是一套制取纯度为99.999%的空分装置，该装置与一般纯氮装装置不同之处在于纯化器之前设有催化反应器，该反应器是在催化剂的作用下将空气中的碳氢化合物转化为CO2、H2O，以便在纯化器中去除，可获得高质量的纯氮。

气同城采用低温空分装置，从空气中提取或从合成氨等化工生产过程中的尾气中回收提取。按我国目前的高威气***标准，分为3级，纯度分别为99.999%、99.9993%、99.9996%，为了获得超大规模集成电路生产所需高纯气，一般还应采用精纯化装置进行提纯，通常气纯化方法可采用催化反应法、吸附法，装置大体与氮纯化装置相似，主要是去除气中的杂质氧、二氧化碳、水分，若要去除烃类杂质，其纯化过程比较复杂，能源消耗大，***大，且不能去除中氮杂质，因此若产品生产要求去除氮杂质时，只要选用金属吸气剂法，不仅可以去除氮杂质，还可获得10-9级高纯气，其特点与前述的金属消气剂气纯化装置相似。